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第三,与氦气使用量随时间减少的MRI设备不同,半导体行业的氦气使用量似乎呈上升趋势:一些消息来源称,到2035年,半导体行业消耗的氦气预计将增加五倍。这部分是由于深紫外(DUV)和极紫外(EUV)半导体光刻机的发展,这些机器需要氦气才能运行。与许多其他气体不同,氦气几乎不吸收EUV辐射,这(据我理解)使得在EUV机器中很难替代氦气。

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